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產(chǎn)品名稱:
反射式膜厚量測(cè)儀
產(chǎn)品型號(hào):
cp-002
產(chǎn)品展商:
OTSUKA大冢光學(xué)
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):558
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
產(chǎn)品特點(diǎn)
非接觸式、不破壞樣品的光干涉式膜厚計(jì)。
高精度、高再現(xiàn)性量測(cè)紫外到近紅外波長(zhǎng)反射率光譜，分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。
寬闊的波長(zhǎng)量測(cè)范圍。(190nm~1100nm)
薄膜到厚膜的膜厚量測(cè)范圍。(1nm~250μm)
對(duì)應(yīng)顯微鏡下的微距量測(cè)口徑。
反射式膜厚量測(cè)儀
的詳細(xì)介紹
產(chǎn)品特點(diǎn)
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非接觸式、不破壞樣品的光干涉式膜厚計(jì)。
-
高精度、高再現(xiàn)性量測(cè)紫外到近紅外波長(zhǎng)反射率光譜，分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。
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寬闊的波長(zhǎng)量測(cè)范圍。(190nm~1100nm)
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薄膜到厚膜的膜厚量測(cè)范圍。(1nm~250μm)
-
對(duì)應(yīng)顯微鏡下的微距量測(cè)口徑。
量測(cè)項(xiàng)目
產(chǎn)品規(guī)格
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型號(hào)
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標(biāo)準(zhǔn)型
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厚膜專用型
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樣品大小
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*大200mm×200mm×7（厚度）mm
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可測(cè)層數(shù)
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*1
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膜厚范圍
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1nm~40μm
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0.8μm~210μm
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1μm~240μm
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80μm~1mm
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波長(zhǎng)范圍
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190nm~760nm
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230nm~800nm
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330nm~1100nm
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430nm~970nm
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750nm~850nm
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900nm~1600nm
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1490nm~1590nm
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測(cè)試單元
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CCD
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CCD
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CCD
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PDA
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PDA
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InGaAs
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InGaAs
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膜厚精度
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±0.1nm（以NIST認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品為依據(jù)）*2
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重復(fù)性精度（2.1σ）
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膜厚測(cè)試（Si基板上的SiO膜
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100nm未滿：0.1nm*3
100nm以上：0.07%
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反射率測(cè)試（Si基板）
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230nm~250nm：0.8%*4
250nm~800nm：0.4% *4
800nm~1050nm：0.8%*4
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測(cè)試光斑*5
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φ40μm<×5倍>、φ20μm<×10倍>、φ10μm<×20倍>、φ6.6μm<×30倍>、φ5μm<×40倍>
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對(duì)物鏡頭
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反射式對(duì)物鏡頭倍數(shù)：×10倍、×20倍、×30倍、×40倍
折射式對(duì)物鏡頭（可視）：×5倍、×10倍、×20倍
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測(cè)試光源
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D 2(紫外光)、I 2(可見光)、D 2 +I 2(紫外-可見光)
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XYZ stage
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自動(dòng)stage
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手動(dòng)stage
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行程
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X：200mm、Y：250mm、Z：10mm
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X：200mm、Y：250mm、Z：10mm
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重復(fù)性精度
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2μm<0.5μm>
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驅(qū)動(dòng)分辨率
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1μm<0.1μm>
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-
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尺寸·重量
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481（W）mm×770（H）mm×714（D）mm約96kg
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427（W）mm×770（H）mm×725（D）mm約88kg
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控制單元
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自動(dòng)stage
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手動(dòng)stage
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尺寸·重量
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300（W）mm×710（H）mm×450（D）mm約34kg
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300（W）mm×380（H）mm×450（D）mm約18kg
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電源 規(guī)格
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AC100V±10V 750VA
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AC100V±10V 500VA
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軟件
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測(cè)試
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手動(dòng)測(cè)試/連續(xù)測(cè)試/制圖測(cè)試（mapping）/測(cè)試與計(jì)算同步功能
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解析
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非線性*小二乘法/波峰波谷解析法/FFT解析法/*適化法
基板解析/里面反射補(bǔ)正/各類nk解析模型式
**反射率/解析結(jié)果Fitting/折射率n的波長(zhǎng)相關(guān)性/消光系數(shù)k的波長(zhǎng)相關(guān)性
3D顯示功能（面內(nèi)膜厚分布、鳥窺圖、等高線、斷面圖）
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系統(tǒng)維護(hù)
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材料文件構(gòu)建（database管理）、硬件的各種設(shè)定
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其它
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樣品對(duì)焦的數(shù)值顯示功能、自動(dòng)對(duì)焦功能（自動(dòng)stage有此功能）、內(nèi)部反射補(bǔ)正功能
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數(shù)據(jù)處理
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數(shù)據(jù)處理
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臺(tái)式電腦、顯示器、打印機(jī)
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*1具體請(qǐng)咨詢本公司。
*2以VLSI公司的標(biāo)準(zhǔn)樣品(100nm SiO2/Si)范圍值保證書為依據(jù)。
*3量測(cè)VLSI公司的標(biāo)準(zhǔn)樣品(100nm SiO2/Si)同一點(diǎn)位時(shí)之重復(fù)性。(2.1倍σ)
*4具體參照相關(guān)保證書。
*5鏡頭為選配件，具體請(qǐng)咨詢本公司。
應(yīng)用范圍
■ FPD
?LCD、TFT、OLED(有機(jī)EL)
■ 半導(dǎo)體、復(fù)合半導(dǎo)體
?矽半導(dǎo)體、半導(dǎo)體雷射、強(qiáng)誘電、介電常數(shù)材料
■ 資料儲(chǔ)存
?DVD、磁頭薄膜、磁性材料
■ 光學(xué)材料
?濾光片、抗反射膜
■ 平面顯示器
?液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED
■ 薄膜
?AR膜
■ 其它
?建筑用材料
量測(cè)范圍
玻璃上的二氧化鈦膜厚、膜質(zhì)分析