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產(chǎn)品名稱:
平面顯示器(FPD)大尺寸樣品專
產(chǎn)品型號:
cp-002
產(chǎn)品展商:
OTSUKA大冢光學(xué)
折扣價格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):437
產(chǎn)品文檔:
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高精度量測各種玻璃基板上的多層膜及光學(xué)常數(shù)。*新的10代基板尺寸，LCD、TFT、PDP、OLED(有機EL)等制程所需的膜層解析皆有完整的解決方案
平面顯示器(FPD)大尺寸樣品專
的詳細介紹
產(chǎn)品特點
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從規(guī)劃設(shè)計、開發(fā)制造、到現(xiàn)場安裝調(diào)整及教學(xué)支援等，皆秉持一貫的品質(zhì)自行完成。
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面對市場多元化的需求，以優(yōu)異的技術(shù)、豐富的實績、安心的售后服務(wù)，提供*完善的膜厚解析方案。
量測項目
顯示器面板膜厚分析設(shè)備FE series
解析面板顯示器制程中持續(xù)進化的各種薄膜
高精度量測各種玻璃基板上的多層膜及光學(xué)常數(shù)。*新的10代基板尺寸，LCD、TFT、PDP、OLED(有機EL)等制程所需的膜層解析皆有完整的解決方案。
用途
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LCD
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ITO/Glass、PI/OC/Glass、CF/Glass、Resist/Glass
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TFT
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SiN/a-Si/Glass
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OLED
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OLED/ITO/Glass
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PDP
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誘電體層/Glass
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半導(dǎo)體膜厚分析設(shè)備FE series
對應(yīng)φ300mm晶圓的全自動搬送系統(tǒng)
可搭配各種Load/Unload搬送規(guī)格，從R&D到生產(chǎn)線皆可靈活運用的膜厚解析系統(tǒng)。1枚樣品中，量測5個點位僅需30秒以下的高速膜厚評價。
用途
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Si半導(dǎo)體晶圓膜
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SiO2/Si、Resist/Si、SiO2/a-Si、SiO2/SiN/SiO2
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半導(dǎo)體膜
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TEOS、SiNX、SiOx等
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化合物半導(dǎo)體
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GaAs、GaN、InGaAs等
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其它
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光學(xué)材料、誘導(dǎo)體材料、金屬膜等
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