試驗(yàn)器,B-72-SG,NOBLE的產(chǎn)品介紹:

B-72-SG従來の応力計(jì)では分からなかった、微細(xì)な応力を測(cè)定することができます。ウェハ用精密めっき電源YPP15100Aのスロットに、専用の応力計(jì)ボードを挿入して使用します。測(cè)定中のデータは、パソコンを利用してリアルタイムで表示?蓄積されます。一般の表計(jì)算ソフトでの編集も可能です（パソコンは別売り）。

【電源及び応力測(cè)定ボード部の仕様】
入力電圧 ： AC100～200V±10％ （50/60Hz±5％）
出力電圧／出力電流 ：　　DC0～15V / 0～10A
*小分解能 ： 1mA / 10mV / 0.1mC
溫度調(diào)節(jié)機(jī)能　　　　?。??。盞W （ON/OFF制御 / PID制御）　
本體重量　　　　　　　?。骸?　8.8ｋｇ
対応OS　　　　　　　　 　：　Windows98,2000,Me,XP,Vista,7対応

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