SIMCO-ION思美高設(shè)備優(yōu)點(diǎn)：靜電吸附是用于臨時(shí)吸附材料的一種特殊工藝，ECM系列靜電吸附系統(tǒng)可以根據(jù)客戶(hù)需要提供高達(dá)60KV靜電電壓用于各種場(chǎng)合。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用高頻開(kāi)關(guān)技術(shù)提供三大優(yōu)勢(shì)。首先，能夠根據(jù)所設(shè)定的電壓實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的電壓輸出；其次，輸入電壓的波動(dòng)將不會(huì)影響輸出電壓波動(dòng)；*后，周邊環(huán)境的變化，負(fù)載的變化，特別是在*大臨界負(fù)載變化將不會(huì)影響輸出電壓的穩(wěn)定性。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用防電弧技術(shù)，很重要的優(yōu)點(diǎn)可以保證人身和設(shè)備使用**,并提高設(shè)備的穩(wěn)定性，延長(zhǎng)使用壽命。對(duì)于靜電吸附系統(tǒng)，靜電產(chǎn)生電極通常被連接到高達(dá)幾萬(wàn)伏的電壓，靜電產(chǎn)生電極周?chē)鷷?huì)發(fā)生電暈現(xiàn)象，空氣被電離，在電場(chǎng)的作用下，電荷移動(dòng)至目標(biāo)物體上。此時(shí)目標(biāo)物體所帶有電荷的極性依賴(lài)于所產(chǎn)生高壓相對(duì)于地極的極性。

5635 型 Aerobar MP 離子發(fā)生器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品，專(zhuān)為需要 100 nm 或更低微粒管理的領(lǐng)域（例如先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝）的靜電消除而開(kāi)發(fā)。

長(zhǎng)處

■單晶硅電極在全球擁有****的采用記錄，具有超低顆粒特性，避免
了電極材料造成的金屬污染風(fēng)險(xiǎn) ■獨(dú)特的MP（脈沖調(diào)制）方法提供高靜電消除性能
，可有效地將離子輸送到目標(biāo) ■ 低電位擺動(dòng)特性，即使在 100 mm 的距離下也能使用，離子平衡對(duì)棒材長(zhǎng)度幾乎沒(méi)有偏差 ■ 智能控制電路持續(xù)自動(dòng)管理
離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
■ 可互換電極，可拆卸1/4圈，有助于

■MP系統(tǒng)具有非常小的電位擺幅，簡(jiǎn)化了設(shè)置，小電位擺幅也有效地將長(zhǎng)期離子平衡保持在
控制標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)。 ■根據(jù)半導(dǎo)體前端工藝的EFEM設(shè)置長(zhǎng)度條
。 ■ 緊湊型設(shè)計(jì)
，內(nèi)置24V直流驅(qū)動(dòng)控制器 ■ 全球提供高水平的支持網(wǎng)絡(luò)

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