■通過與外部傳感器(NOVX 3150/3350/3360/7000 等)組合實現(xiàn)
高精度 +/-1v 離子平衡(+/-3v
無外部傳感器)
■兼容高清潔度
■型號 5802i、5810i、5822i離子發(fā)生器鼓風機
專為在潔凈室中使用而
設計,是符合 ISO Class 4 (Fed Std 209E Class 10) 的高度潔凈設計。
■通過我們獨特的自動離子平衡控制
實現(xiàn)延長維護周期。
■配備風扇停止警報.
■自動電極 . 清潔機制選項 高可靠性和本地支持,得到 全球許多
交付的支持
輸入電壓 | 100-240V AC +/-10% 50/60Hz |
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外裝 | 鋁上的環(huán)氧樹脂/聚酯粉末涂層 |
離子發(fā)生法 | 穩(wěn)態(tài)直流方案 |
電極 | 鈦 8/風扇 |
風量 | 144cfm typ/fan 風扇速度 = 高 |
除電時間 | <3sec. 45cm 距離.1kv → 100v. Fab speed = High |
離子平衡 | <+/-1v 典型值(帶外部傳感器) +/-3v(不帶外部傳感器) |
尺寸 |
-32:高 96mm x 深 155mm x 長 813mm -40:高 96mm x 深 155mm x 長 1016mm -44:高 96mm x 深 155mm x 長 1118mm |
重量 | -44:鋁制機身規(guī)格 4.6kg |
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