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產(chǎn)品名稱:
日本SIMCOION空間除靜電器4214
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商:
SIMCO-ION美國(guó)思美高
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):25
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
采用單結(jié)晶硅電極支持超低粒子。
· 確保一個(gè)穩(wěn)定的長(zhǎng)期自身機(jī)制的清潔不干凈顆粒釋放到外部
· 采用智能控制電路，不需要任何調(diào)整
· 離子一代不斷監(jiān)測(cè)傳感器的內(nèi)部器官，取得了一定的電離
· 內(nèi)置的集成電源控制器的設(shè)計(jì)緊湊
· 在低流量，高電壓自動(dòng)關(guān)機(jī)功能保護(hù)產(chǎn)品
· *適合超低粒子半導(dǎo)體制造工藝的**
· 24V直流驅(qū)動(dòng)器
日本SIMCOION空間除靜電器4214
的詳細(xì)介紹
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輸入電壓
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24V DC + / -5％6W典型。
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離子平衡
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<+ /-25V無(wú)40LPM距離150毫米管道連接
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放電時(shí)間
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<10秒，無(wú)管道連接40LPM距離150毫米
+ /-1KV→/ - 100V充電平板顯示器
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離子生成方法
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高頻交流電暈放電法
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衛(wèi)生
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ISO Class1的，“的ISO Class1的，10nm的延伸”0.1微米*
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電極
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可以更換單晶硅
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支持吹掃氣體
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N2> 99.998％
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流
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40LPM（36.5Kpa）?90LPM（171kpa）
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*大壓力吹掃
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（流量= 100LPM）207Kpa
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*大的氣體溫度
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60deg?
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氮?dú)獯祾哌B接
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水暖Swagelok3 / 8“OD
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N2連接電離
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1/4NPT內(nèi)螺紋連接選項(xiàng)或聯(lián)合
管道連接Swagelok1 / 2“外徑28-25710-SC
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工作溫度范圍
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15?60deg?
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信號(hào)輸出
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打開(kāi)/關(guān)閉，離子產(chǎn)量下降的報(bào)警和接觸
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維
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的深度72.4毫米x152.4毫米x 32毫米寬長(zhǎng)度的
管段不包括在內(nèi)
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重量
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640克
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外觀
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不銹鋼
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安裝方法
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長(zhǎng)度超過(guò)10mm M5 Nejineji回少
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