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產(chǎn)品名稱:
江蘇蘇州日本分光干渉式晶圓膜厚儀
產(chǎn)品型號(hào):
SF-3
產(chǎn)品展商:
其它品牌
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):205
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測
采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測再現(xiàn)性
可進(jìn)行高速的即時(shí)研磨檢測
可穿越保護(hù)膜、觀景窗等中間層的檢測
可對應(yīng)長工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線或者設(shè)備中
體積小、省空間、設(shè)備安裝簡易
可對應(yīng)線上檢測的外部信號(hào)觸發(fā)需求
采用*適合膜厚檢測的獨(dú)自解析演算法。(已取得磚利)
可自動(dòng)進(jìn)行膜厚分布制圖(選配項(xiàng)目)
江蘇蘇州日本分光干渉式晶圓膜厚儀
的詳細(xì)介紹
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SF-3
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膜厚測量范圍
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0.1 μm ~ 1600 μm※1
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膜厚精度
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±0.1% 以下
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重復(fù)精度
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0.001% 以下
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測量時(shí)間
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10msec 以下
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測量光源
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半導(dǎo)體光源
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測量口徑
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Φ27μm※2
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WD
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3 mm ~ 200 mm
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測量時(shí)間
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10msec 以下
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※1 隨光譜儀種類不同,厚度測量范圍不同
※2 *小Φ6μm