ULVAC愛發(fā)科-真空計(jì)的基礎(chǔ)知識(shí)

ULVAC真空計(jì) 傳感器單體型復(fù)合電離真空計(jì)

愛發(fā)科改善了測定子本身的穩(wěn)定性，開發(fā)了一種電離真空計(jì)，可滿足對(duì)**，穩(wěn)定真空計(jì)的需求。與B-A電離真空計(jì)和冷陰極電離真空計(jì)相比，即使在惡劣環(huán)境下也能減少更換測定子的頻率。

一.*近的真空設(shè)備內(nèi)部的環(huán)境

OLED?觸摸屏等用的ITO膜、從丙烯酸基板釋放出的氣體

真空腔室加工過程中切削油和清潔液殘留物中釋放出的氣體

真空腔室中的配線，電機(jī)釋放出的氣體
由于有機(jī)物等粘附在測定子內(nèi)部的電極上，電子和離子的流動(dòng)受到損害，因此壓力指示變得異常。
B-A型、冷陰極型電離真空計(jì)

油暴露測試摘要和問題

三極管型結(jié)構(gòu)的優(yōu)越性靈敏度穩(wěn)定，精度好

通過更換真空計(jì)減少停機(jī)時(shí)間和運(yùn)行成本

**的壓力控制

掌握設(shè)備異常

B-A型電離真空計(jì) VS 三極管型電離真空計(jì)

由于靈敏度幾乎相同，因此假設(shè)兩者1×10-3Pa的離子電流值為1×10-7A，則離子收集器單位面積的離子電流值如下。

單位面積的離子電流值大意味著與離子收集器碰撞的電離氣體分子的數(shù)量大。

B-A型受軟X射線的影響較小，并且具有較高的離子收集效率，因此即使在低壓下也可以測量，

但是由于離子收集效率高，有機(jī)物的沉積量要比三極管型大。
ST2的油暴露測試

減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間和運(yùn)行成本

始終**的壓力控制

掌握設(shè)備異常
Ir/Y2O3燈絲　使用壽命長，更換真空計(jì)可減少停機(jī)時(shí)間和運(yùn)行成本。

小型金屬管球　無需擔(dān)心安裝空間或測定子損壞。

與傳統(tǒng)的玻璃管型相比，其內(nèi)部容積約為1/7，長度約為1/3，因此可以減小安裝空間。與傳統(tǒng)玻璃管相比，無需擔(dān)心破損
復(fù)合電離真空計(jì)型傳感器單元

通過連接皮拉尼真空計(jì)單元可以減少控制信號(hào)。

通過連接可選的皮拉尼真空計(jì)單元SPU可以自動(dòng)控制燈絲

從皮拉尼真空計(jì)到電離真空計(jì)的指示值可以作為單個(gè)信號(hào)輸出

常規(guī)的ISG1可以按原樣使用